ＮＡＮＯＴＳ２０２０

表彰

Best Interested Paper Award

講演番号

(19)

題目

X線小角散乱による三次元デバイスの深穴形状計測
Cross-sectional profile measurement of deep holes in three-dimensional devices by small angle x-ray scattering

著者

伊藤義泰, 後藤拓実, 表　和彦
Y. Ito, T. Goto, and K. Omote

所属

リガク　X線研究所
X-ray Research Lab., Rigaku Corp.

---

Top Page

NANOTS2023

NANOTS2022

Past Symposium

Download

---