ナノテスティングシンポジウム

Annual Nano Testing Symposium

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お知らせ

2020-12-11

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お知らせNANOTS 2020 Best Interested Paper Award 選出のお知らせ

第40回ナノテスティングシンポジウム (NANOTS 2020) Best Interested Paper Awardが、下記の通り選出されましたので、お知らせ申し上げます。

Best Interested Paper Award

Displayed item: Title、 Authors、 Affiliations 

(19)
Cross-sectional profile measurement of deep holes in three-dimensional devices by small angle x-ray scattering
Y. Ito, T. Goto, and K. Omote
X-ray Research Lab., Rigaku Corp.
14:45-15:10