ナノテスティングシンポジウム

Annual Nano Testing Symposium

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お知らせ

2019-12-20

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お知らせNANOTS 2019 Best Interested Paper Award・若手奨励賞 選出のお知らせ

第39回ナノテスティングシンポジウム (NANOTS 2019) Best Interested Paper Award 並びに 若手奨励賞(2名)が、下記の通り選出されましたので、お知らせ申し上げます。

Best Interested Paper Award

Displayed item: Title、 Authors、 Affiliations 

(26)
A study of lithography process prediction using GAN
T. Ohashi(a, Y. Kono(b, A. Nakajima(a, C. Ida(c, and A. Hamaguchi(c
a)Institute of Memory Technology Research & Development, Kioxia Corp., b)Corporate Manufacturing Engineering Center, Toshiba Corp., c)Advanced Memory Development Center, Kioxia Corp.
14:55-15:20
若手奨励賞(2名)
  • 大橋拓司(キオクシア メモリ技術研究所)
  • 岩本 航(大阪大学 大学院情報科学研究科)